近日，上海自贸区基金联合国内半导体设备龙头企业战略投资高端化学机械平坦化抛光（CMP）领先企业众硅科技。众硅科技主要从事CMP设备及周边产品的研发与生产，主要产品包括6-12寸CMP设备、单模组CMP系统、抛光液供液系统(SDS)、ECMP等产品以及相关产品的技术服务。