近日，上海自贸区基金联合国内半导体设备龙头企业战略投资高端化学机械平坦化抛光（CMP）领先企业众硅科技。

众硅科技主要从事CMP设备及周边产品的研发与生产，主要产品包括6-12寸CMP设备、单模组CMP系统、抛光液供液系统(SDS)、ECMP等产品以及相关产品的技术服务。CMP设备作为半导体制造核心装备之一，是半导体产业链中非常重要的一环：一方面，它影响了下游芯片制造商的产能布局与扩张节奏，拥有先进CMP设备的厂商能够更快地响应市场对高端芯片的需求，全球顶尖芯片代工巨头，凭借大量高端CMP设备，在先进制程芯片领域抢占先机，不断扩大市场份额；另一方面，其国产化进程对于保障国家半导体产业安全至关重要，长期以来，国外厂商在CMP设备市场占据主导，一旦国际形势紧张，设备供应受阻，国内半导体产业将面临“卡脖子”困境。

众硅科技创立于2018年，团队由具有国内外技术和产业背景的半导体设备和工艺专家组成。公司12寸高端CMP已批量供应下游多家重要客户，部分高端产品填补国内空白。此外，公司研制的8英寸先进CMP设备已获得国际半导体行业的SEMI认证，并在多家知名集成电路制造企业的生产线中得到应用。

上海自贸区基金自成立以来即重点聚焦集成电路/半导体等硬核科技产业领域，以CVC策略深度投资布局，融合产业链主生态体系，共同构建并持续拓展“资本+产业链生态圈”，具有突出的产业深耕优势。基金围绕半导体产业链已重点覆盖半导体设备（含材料、部件）、芯片设计与制造、下游应用等，深度布局了半导体行业内市场空间较大、国产化率较低的细分赛道。众硅科技是基金在半导体设备领域的又一重要布局，基金将进一步推动其与基金过往投资组合的深度耦合，强化产业链协同，助力其加快打造前道晶圆制造关键设备领先品牌。